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COOLER SCHUTZ FÜR HEIßE ÖFEN

COOLER SCHUTZ FÜR HEIßE ÖFEN

Strukturdämpfer im Siliziumwafer-Fertigungsprozess

Siliziumwafer müssen bei ihrer Herstellung schwitzen. Der Prozess besteht aus vielen Phasen, in deren Verlauf sie mehrfach über 1000 °C erhitzt werden. Eine Beladeeinheit transportiert die Wafer in den Ofen und positioniert sie dort exakt – das alles vollautomatisch. Dass es selbst bei Störungen nicht zur Kollision kommen kann, dafür sorgen Strukturdämpfer.

Erfahren Sie mehr über diese spannende Anwendung und lesen sie den Artikel in unserem E-Paper.

 

Bilder: LISCO GmbH, ACE Stoßdämpfer GmbH

Veröffentlicht von

Dr. Michael Döppert

Mich begeistern naturwissenschaftliche und technische Themen, sie zu verstehen und verständlich zu vermitteln

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