Kategorie: Micro-Epsilon

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Micro-Epsilon

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Neueste

Optische Messtechnik

Lasertriangulation mit bis zu 150 kHz über vollen Messbereich

Der optimierte und erweiterte Lasertriangulationssensor optoNCDT 5500 von Micro-Epsilon überzeugt durch mehr Leistung, eine Messrate von bis zu 150 kHz und einen erweiterten Messbereich von 50 mm. Zudem gibt es neue Feldbusvarianten mit Industrial-Ethernet-Schnittstelle.

Weißlichtinterferometer

Waferdicken exakt messen

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf hohe Präzision an. Einer der entscheidenden Schritte ist das Läppen der Rohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Schichtdicke fortlaufend zu kontrollieren, eignen sich Weißlichtinterferometer von Micro-Epsilon.

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