Sensorik
Die neuen Thicknessgauge-Systeme verbessern laut Hersteller die Inline-Dicken- und 3D-Messung von Band- und Plattenmaterialien. Sie bieten eine große Auswahl an Sensormodellen, Messbereichen und -breiten.
Partnerschaft
Phasenmessende Deflektometrie
Laserscanner
Weißlichtinterferometer
Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf hohe Präzision an. Einer der entscheidenden Schritte ist das Läppen der Rohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Schichtdicke fortlaufend zu kontrollieren, eignen sich Weißlichtinterferometer von Micro-Epsilon.
Mit True-Color-Farbsensoren der Reihe colorSENSOR CFO von Micro-Epsilon lassen sich nahezu alle Farbmessaufgaben lösen. Die vier Sensortypen messen auf Oberflächen mit direkten und diffusen Reflexionen.
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