1. Home
  2. /
  3. Steinmeyer
  4. /
  5. 6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion
Positionierlösung

6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion

17.10.2023
von Redaktion DER KONSTRUKTEUR

Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik kombiniert einen Kreuztisch mit einem Tripod und erzielt dadurch laut Hersteller ein Höchstmaß an Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit.

Vor dem Vermessen bzw. Bearbeiten müssen Wafer und Optiken mikrometergenau ausgerichtet werden. Das erfordert kompakte Positionierlösungen, die kleine Stellwege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad zuverlässig und hochgenau realisieren. Die kartesische XY-Verstellung realisiert Verfahrwege von ±15 mm, die Vertikalachse des Tripods ist für Hübe von ±10 mm ausgelegt. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um ±2°, die Drehung um die vertikale Rz beträgt 360°. Dank der Wiederholgenauigkeit von ±2,5 µm bzw. ±0,005° lassen sich präzise Alignment-Ergebnisse erzielen – und dies bei Lasten bis 15 kg. Der Manipulator verfügt über eine zentrale Durchlichtöffnung von 250 mm und kann für das Ausrichten von Wafern und Optiken bis 300 mm/12″ eingesetzt werden. Ausführungen für den Reinraum sind erhältlich. Die Anbindung erfolgt via EtherCAT, CAN, Ethernet oder Profibus. Je nach Maschinenumgebung können Motion Controller für Beckhoff, ACI oder Siemens integriert werden. Vorbereitete Softwareschnittstellen und Bibliotheken für alle gängigen Industriesteuerungen und Hochsprachen (API) sind verfügbar.

 

 

Text- und Bildquelle: Steinmeyer Mechatronik

Jetzt Newsletter abonnieren

Technologische Innovationen und Branchentrends aus allen Teilbereichen der Fluidtechnik –
Verpassen Sie nicht unsere besten Inhalte

Hier registrieren

Weitere Artikel

Einstieg in die IIoT-Welt einfach gemacht
Einstieg in die IIoT-Welt einfach gemacht

Der erste Schritt bei IIoT-Projekten ist in der Regel die digitale Anbindung und anschließende Konfiguration der Geräte. Ifm bietet dafür IO-Link-Geräte und die Software Moneo configure.

Abstreifer für Kugelgewindetriebe
Abstreifer für Kugelgewindetriebe

Durch verschiedene Faktoren wie Verschmutzung, Korrosion oder unzureichende Schmierung kann es bei Kugelgewindetrieben vorzeitig zu Verschleiß und Ausfällen kommen. Um dem vorzubeugen, bietet August Steinmeyer je nach Applikation Kugelgewindetriebe mit den passenden Abstreifern an.

Prozessintegration leicht gemacht
Prozessintegration leicht gemacht

Einfachheit in automatisierte Spezialprozesse bringen: Das heißt für Vega, verlässliche Messergebnisse jederzeit, überall und in der exakt passenden Leistungsgröße umzusetzen.

You have Successfully Subscribed!

You have Successfully Subscribed!