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Weißlichtinterferometer

Waferdicken exakt messen

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf hohe Präzision an. Einer der entscheidenden Schritte ist das Läppen der Rohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Schichtdicke fortlaufend zu kontrollieren, eignen sich Weißlichtinterferometer von Micro-Epsilon.

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